La mesure de l’épaisseur s’effectue à l’aide d’un appareil « TALYSTEP » de TAYLOR-HOBSON. Une marche est réalisée par gravure sèche à l’aide d’un plasma d’hexafluorure de soufre (SF6). Au passage de la marche, le stylet de mesure se déplace verticalement dans une bobine enroulée autour, ce qui se traduit par un courant induit proportionnel au déplacement de la pointe. En considérant d’une part la précision inhérente à l’instrumentation et d’autre part les bruits introduits par l’environnement (vibrations etc.), nous estimons l’erreur à environ 2 % pour chaque calibre de mesure. Des mesures allant de 0,02 à 12 µm peuvent être effectuées.