Les débitmètres gérant les flux des divers gaz sont des débitmètres massiques. La précision fournie est de 5 % pleine échelle. Celui pour le flux de silane fournit un débit maximal de 1 slm (« standard litres per minute »). Cette ligne du gaz réactif rejoint entre les débitmètres et le réacteur une ligne du gaz diluant, qui passe également par un débitmètre de 1 slm pleine échelle. La pleine échelle du débitmètre de l’hydrogène pour la partie basse du réacteur est de 10 slm. Pour des raisons données dans la section 3.2.1, page 78, l’hydrogène a été remplacé par de l’hélium au cours du travail. On a gardé le même débitmètre et appliqué un facteur de correction à la consigne, étalonnée à 0,65 (donc débit fois 0,65 = consigne). Ce facteur est proche du rapport entre les capacités calorifiques des deux gaz :
Plus tard, deux lignes pour les gaz dopant arsine et diborane ont été installées.
Ces gaz sont dilués dans de l’hydrogène à 1
et passent respectivement par un
débitmètre de 10 sccm (« standard cubic centimeters per minute »). Ces deux
lignes rejoignent la ligne de silane à environ 1 m avant l’entrée dans le réacteur.
Dans cette longueur de canalisation les gaz sont pré-mélangés.