2.  Le réacteur SAPCVD

LA PARTIE SUIVANTE de ce mémoire est dédiée au réacteur, qui représente l’objet central de notre travail. Comme il s’agit d’un prototype fabriqué à l’atelier du laboratoire GMV, ce réacteur fut sujet à de nombreuses modifications. Nous n’allons donc pas seulement décrire sa configuration actuelle, mais également son développement au cours des dernières trois années. L’enceinte, pratiquement le châssis du montage, sera présenté en premier lieu, et ensuite les accessoires indispensables —le système de chauffage, de pompage et la distribution de gaz— seront décrits en détail.

2.1 Le réacteur de dépôt
2.2 Le réglage de la pression
2.3 Le système de chauffage: problèmes et modifications
2.4 La technique de pompage
2.5 Distribution de gaz
2.6 Résumé