Liste des tableaux

2.1 Conductivité thermique c et coefficient de dilatation a des matériaux cuivre, inox et graphite à température ambiante [32, 36, 132, 138].
3.1 Vitesses de dépôt en µm/h à 550  pour plusieurs pressions totales.
3.2 Énergies d’activation de la conductivité électrique des couches amorphes déposées par LPCVD [89].
3.3 Densités de spin Ns pour des échantillons amorphes mesurées par RPE.
3.4 Profondeur de pénétration x en µm pour laquelle 63 % de l’intensité de la lumière est absorbée.
3.5 Énergies d’activation du temps de nucléation pour toutes les conditions de dépôt en électronvolt.
3.6 Mobilité HALL mH, photo-conductivité sp, produit mt et longueur de diffusion Ld des porteurs dans le silicium sans et avec couche barrière de SiO2.
3.7 Impact d’un dégazage prolongé sur la mobilité et la photo-conductivité.
3.8 Impact d’un recuit « RTA » sur la mobilité et la photo-conductivité.
5.1 Conditions de dépôt des couches n, i et p.
5.2 Caractéristiques de la diode pin sans et avec RTA.
A.1 Angles de diffraction 2h et rapports Ihkl0/I 1110 pour les six premières raies.